日本電子/クロスセクションポリッシャー　SM-09010

試料面上にセットされた遮蔽板にイオンビームを垂直に照射し、
イオン照射を受けてエッチングされる領域と遮蔽板で遮蔽される領域の境界に沿って、
断面を形成させる試料作製装置です。

イオン加速電圧　２～６ｋｖ
搭載試料サイズ　１１ｍｍｘ９ｍｍ　厚さ２ｍｍ
寸法　３８０ｍｍｘ５７０ｍｍｘ５２０ｍｍH　ロータリーポンプ除く
重量　４１ｋｇ